光学精密工程2023，Vol.31Issue(13)：1933-1940,8.DOI:10.37188/OPE.20233113.1933
亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台
Development of 6-DOF micro-driving stage with sub-nano driving resolution
摘要
关键词
微动工作台/亚纳米分辨力/六自由度/运动控制系统Key words
micro-driving stage/resolution with sub-nano/6-DOF/motion control system分类
机械工程引用本文复制引用
黄强先,程保林,张弛斌,张帆,张连生..亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台[J].光学精密工程,2023,31(13):1933-1940,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51875163) （No.51875163）
国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004901) （No.2019YFB2004901）
