光学精密工程2023，Vol.31Issue(13)：1941-1949,9.DOI:10.37188/OPE.20233113.1941
光栅刻划刀具弹性支撑机构颤振抑制性能优化
Optimization of chatter suppression performance of elastic support mechanism for grating ruling tools
摘要
关键词
机械刻划法/刻划刀架/颤振信号/中阶梯光栅Key words
mechanical ruling method/ruling tool carrier/chatter signal/echelle grating分类
电子信息工程引用本文复制引用
于硕,王玮,李文昊,吉日嘎兰图..光栅刻划刀具弹性支撑机构颤振抑制性能优化[J].光学精密工程,2023,31(13):1941-1949,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.62075216) （No.62075216）
中国科学院战略性先导科技专项(C类)资助(No.XDC04000000) （C类）
