现代信息科技2023，Vol.7Issue(14)：167-171,176,6.DOI:10.19850/j.cnki.2096-4706.2023.14.035
一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现
Design and Implementation of Silicon Micro-resonant Accelerometer with Differential Leverage Structure
陈美华1
作者信息
- 1. 清华四川能源互联网研究院,四川 成都 610213
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摘要
关键词
微机电系统/谐振加速度计/差分杠杆结构/标度因数Key words
micro electromechanical system/resonant accelerometer/differential leverage structure/scale factor分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈美华..一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现[J].现代信息科技,2023,7(14):167-171,176,6.
