中国科技成果2023，Vol.24Issue(13)：27-29,38,4.DOI:10.3772/j.issn.1009-5659.2023.13.016
高性能硅基压力传感器产业技术研究
李永清 1贾文博 1方子硕 1祝永锋 1滕文峰 1裴晓雷1
作者信息
- 1. 沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁 沈阳 110043
- 折叠
摘要
关键词
硅基压力传感器/MEMS压力敏感芯片/高性能/高稳定/低漂移引用本文复制引用
李永清,贾文博,方子硕,祝永锋,滕文峰,裴晓雷..高性能硅基压力传感器产业技术研究[J].中国科技成果,2023,24(13):27-29,38,4.
