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用于双聚焦磁质谱仪的离子源电参数仿真研究

刘畅 肖梅 张晓兵

电子器件2023,Vol.46Issue(3):657-662,6.
电子器件2023,Vol.46Issue(3):657-662,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2023.03.014

用于双聚焦磁质谱仪的离子源电参数仿真研究

Simulation of Voltage Parameters of the Ion Source for the Double Focusing Magnetic Mass Spectrometer

刘畅 1肖梅 1张晓兵1

作者信息

  • 1. 东南大学电子科学与工程学院,江苏 南京 210096
  • 折叠

摘要

关键词

离子源/仿真/双聚焦磁质谱仪/聚焦性能

Key words

Ion source/simulation/double focusing mass spectrometer/focusing performance

分类

机械制造

引用本文复制引用

刘畅,肖梅,张晓兵..用于双聚焦磁质谱仪的离子源电参数仿真研究[J].电子器件,2023,46(3):657-662,6.

电子器件

OACSTPCD

1005-9490

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