光学精密工程2023，Vol.31Issue(14)：2031-2039,9.DOI:10.37188/OPE.20233114.2031
石英玻璃亚表面微裂纹的偏振激光散射检测方法
Polarized laser scattering detection method for subsurface microcracks in quartz glass
摘要
关键词
偏振激光散射/亚表面微裂纹/压痕/研磨/石英玻璃Key words
polarized laser scattering/subsurface microcrack/indentation/grinding/quartz glass分类
电子信息工程引用本文复制引用
吕启鑫,石芳媛,白倩,蒋效雄,姜丽丽..石英玻璃亚表面微裂纹的偏振激光散射检测方法[J].光学精密工程,2023,31(14):2031-2039,9.基金项目
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3403602) （No.2022YFB3403602）
