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蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹深度检测

彭福鑫胡中伟陈瑜谢斌晖周志豪

光学精密工程2023，Vol.31Issue(14)：2060-2070,11.

光学精密工程2023，Vol.31Issue(14)：2060-2070,11.DOI:10.37188/OPE.20233114.2060

Surface crack depth detection of sapphire substrate two-sided lapping

彭福鑫 ¹胡中伟 ¹陈瑜 ¹谢斌晖 ²周志豪²

作者信息

蓝宝石衬底/研磨/表面裂纹/裂纹检测

sapphire substrate/lapping/surface crack/crack detection

机械制造

彭福鑫,胡中伟,陈瑜,谢斌晖,周志豪..蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹深度检测[J].光学精密工程,2023,31(14):2060-2070,11.

国家自然科学基金资助项目(No.52175404) （No.52175404）

福建省区域发展项目资助(No.2019H4014) （No.2019H4014）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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