光学精密工程2023,Vol.31Issue(14):2071-2079,9.DOI:10.37188/OPE.20233114.2071
高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究
Research on post-processing polishing technology of pulse compression gratings with high laser damage threshold
摘要
关键词
脉冲压缩光栅/多层介质膜光栅/磁性复合流体/激光诱导损伤阈值/表面形貌Key words
pulse compression gratings(PCG)/multilayer dielectric grating(MDG)/magnetic com-pound fluid(MCF)/laser induced damage threshold(LIDT)/surface topography分类
机械制造引用本文复制引用
洪小兰,姜晨..高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究[J].光学精密工程,2023,31(14):2071-2079,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51475310) (No.51475310)
机械系统与振动国家重点实验室课题资助(No.MSV202315) (No.MSV202315)