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用KI/KIO3化学曝光剂测量UV-LED紫外线输出量过程中反射量的确定

张连峰 周钰 常保延 熊东 闫建昌 申聪敏 王春勇

计量学报2023，Vol.44Issue(7)：1040-1045,6.
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计量学报2023，Vol.44Issue(7)：1040-1045,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.07.05

用KI/KIO3化学曝光剂测量UV-LED紫外线输出量过程中反射量的确定

Determination of the Reflection Loss in the Measurement of UV Output of UV-LED by KI/KIO3 Chemical Actinometer

张连峰 1周钰 2常保延 3熊东 4闫建昌 5申聪敏 6王春勇7

作者信息

  • 1. 深圳清华大学研究院生态与环境保护实验室,广东深圳518057
  • 2. 深圳清华大学研究院生态与环境保护实验室,广东深圳518057||辽宁工业大学化学与环境工程学院,辽宁锦州121001
  • 3. 无锡华兆泓光电科技有限公司,江苏无锡214112
  • 4. 深圳市晶宏照明有限公司,广东深圳518000
  • 5. 中国科学院半导体研究所,北京100083
  • 6. 山西中科潞安紫外光电科技有限公司,山西长治046000
  • 7. 辽宁工业大学化学与环境工程学院,辽宁锦州121001
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/反射损耗/化学曝光剂/紫外线发光二极管/菲涅耳方程/旋涡

Key words

metrology/reflection loss/chemical actinometer/UV-LED/Fresnel equation/vortex

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

张连峰,周钰,常保延,熊东,闫建昌,申聪敏,王春勇..用KI/KIO3化学曝光剂测量UV-LED紫外线输出量过程中反射量的确定[J].计量学报,2023,44(7):1040-1045,6.

基金项目

深圳市科技计划项目(JCYJ20180306170551939,JCYJ20200109150612249) （JCYJ20180306170551939,JCYJ20200109150612249）

无锡华兆泓光电科技有限公司研发基金(HZHYF2020-3) （HZHYF2020-3）

深圳市晶宏照明有限公司研发基金(JH2021Y1) （JH2021Y1）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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