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小型化硅基微腔光子测温系统

梅明城潘奕捷屈继峰韩琪娜施杨周琨荔曾九孙王瑾张诚高建新瞿志二

计量学报2023，Vol.44Issue(7)：1052-1058,7.

计量学报2023，Vol.44Issue(7)：1052-1058,7.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.07.07

小型化硅基微腔光子测温系统

A Miniaturized Silicon Microcavity Based Photonic Temperature Measurement System

梅明城 ¹潘奕捷 ²屈继峰 ²韩琪娜 ³施杨 ²周琨荔 ²曾九孙 ⁴王瑾 ²张诚 ⁵高建新 ⁶瞿志二⁵

作者信息

1. 中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018||中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心,北京100029
2. 中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心,北京100029
3. 哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院,黑龙江哈尔滨150001||中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心,北京100029
4. 中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018
5. 中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心,北京100029||北京理工大学光电学院,北京100081
6. 中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心,北京100029||中国计量大学光学与电子科技学院,浙江杭州310018
折叠

摘要

关键词

计量学/微腔光子测温/温度传感/光子温度计/微环谐振腔/高分辨率/小型化

Key words

metrology/microcavity photonic thermometry/temperature sensing/photonic thermometer/micro-ring resonator/high resolution/miniaturization

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

梅明城,潘奕捷,屈继峰,韩琪娜,施杨,周琨荔,曾九孙,王瑾,张诚,高建新,瞿志二..小型化硅基微腔光子测温系统[J].计量学报,2023,44(7):1052-1058,7.

基金项目

国家重点研发计划目(2022YFF0608304) （2022YFF0608304）

国家自然科学基金(62075206,62205324) （62075206,62205324）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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