牡丹江师范学院学报（自然科学版）Issue(3)：73-77,5.
原子层沉积法制备ZnO薄膜晶体管教学研究
Teaching Research on Preparation of ZnO Thin Film Transistor by Atomic Layer Deposition
摘要
关键词
电子器件/半导体物理/后处理Key words
electron device/semiconductor physics/post-processing分类
社会科学引用本文复制引用
陈雪,吴宏伟..原子层沉积法制备ZnO薄膜晶体管教学研究[J].牡丹江师范学院学报（自然科学版）,2023,(3):73-77,5.基金项目
国家自然科学基金项目(11904008) （11904008）
安徽省线上课程"半导体物理学"建设项目(2021xskc017) （2021xskc017）
安徽理工大学高层次人才引进基金项目(2021yjrc24) （2021yjrc24）
安徽省教育厅重点项目(2022AH050850) （2022AH050850）
