沈阳大学学报（自然科学版）2023，Vol.35Issue(4)：309-318,10.
硅基垂直光栅耦合器的研究进展
Research Progress of Silicon-Based Vertical Grating Couplers
摘要
关键词
光子器件/光波导/硅基/光栅耦合器/垂直耦合Key words
photonic devices/optical waveguide/silicon substrate/grating coupler/vertical coupling分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘勇,冯松,王迪,陈梦林,胡祥建,冯露露..硅基垂直光栅耦合器的研究进展[J].沈阳大学学报（自然科学版）,2023,35(4):309-318,10.基金项目
国家重点研发计划项目(2018YFB2200500) （2018YFB2200500）
国家自然科学基金资助项目(61204080) （61204080）
国家重点实验室基金资助项目(SKL201804) （SKL201804）
陕西省重点研发计划项目(2022GY-012) （2022GY-012）
西安市科技计划项目(2020KJRC0026). （2020KJRC0026）
