标准科学Issue(z1)：195-199,5.
电弧法CVD金刚石膜热学性能影响因素分析
Analysis of Influence Factor about Thermal Properties of CVD Diamond Films by DC Arc Plasma Method
郭建超 1张雄文 1靳士昌 1邓冀泽 1冯志红1
作者信息
摘要
关键词
电弧法/金刚石/热学性能/影响因素/改善措施Key words
DC arc plasma/diamond/thermal performance/influence factor/improvement measures引用本文复制引用
郭建超,张雄文,靳士昌,邓冀泽,冯志红..电弧法CVD金刚石膜热学性能影响因素分析[J].标准科学,2023,(z1):195-199,5.
