信息与控制2023，Vol.52Issue(3)：302-312,11.DOI:10.13976/j.cnki.xk.2023.2153
基于太赫兹图像融合与深度学习的芯片缺陷检测方法
Defect Detection Method for Integrated Circuits Based on Terahertz Image Fusion and Deep Learning
摘要
关键词
半导体芯片/缺陷检测/太赫兹时域光谱/融合算法/轻量级神经网络缺陷检测模型Key words
semiconductor IC/defect detection/Terahertz(THz)time domain spectral imaging/fusion algorithm/LiCNN分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘竞博,毛淇,朱云龙..基于太赫兹图像融合与深度学习的芯片缺陷检测方法[J].信息与控制,2023,52(3):302-312,11.基金项目
国家自然科学基金青年基金(62101534) （62101534）
广东省基础与应用基础研究基金(2022A1515140107,2020A1515110146) （2022A1515140107,2020A1515110146）
广东省普通高校重点领域专项(2022ZDZC1078) （2022ZDZC1078）
广东省普通高校创新团队项目(2022KCXTD066) （2022KCXTD066）
