液晶与显示2023,Vol.38Issue(8):1031-1046,16.DOI:10.37188/CJLCD.2023-0121
晶态IGZO薄膜晶体管的研究进展
Research progress on crystalline IGZO thin film transistor
摘要
关键词
晶态IGZO薄膜/薄膜晶体管/晶体结构/研究进展Key words
crystalline IGZO film/thin film transistor/crystal structure/research progress分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
姜柏齐,宁策,袁广才,王峰,喻志农,刘斌,刘贤文,张硕,翁乐,史大为,郭建,苏顺康,姚琪..晶态IGZO薄膜晶体管的研究进展[J].液晶与显示,2023,38(8):1031-1046,16.基金项目
国家重点研发计划(No.2021YFB3600703)Supported by National Key Research and Development Program of China(No.2021YFB3600703) (No.2021YFB3600703)