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TFT-LCD用黑色光刻胶材料对曝光过程Mark读取的影响

李吉张霞廖昌谢忠憬尹勇明孟鸿

液晶与显示2023，Vol.38Issue(8)：1047-1053,7.

液晶与显示2023，Vol.38Issue(8)：1047-1053,7.DOI:10.37188/CJLCD.2023-0075

Influence of black photo spacer material for TFT-LCD on mark reading in exposure process

李吉 ¹张霞 ²廖昌 ²谢忠憬 ²尹勇明 ³孟鸿⁴

作者信息

1. 北京大学深圳研究生院, 广东深圳 518055||北京大学材料科学与工程学院, 北京 100871||TCL华星光电技术有限公司, 广东深圳 518132
2. TCL华星光电技术有限公司, 广东深圳 518132
3. 北京大学深圳研究生院, 广东深圳 518055||深圳北理莫斯科大学, 广东深圳 518172
4. 北京大学深圳研究生院, 广东深圳 518055||北京大学材料科学与工程学院, 北京 100871
折叠

TFT-LCD/BPS技术/曝光工艺/抓标对位/透过率

TFT-LCD/BPS technology/exposure process/mark reading/transmittance

信息技术与安全科学

李吉,张霞,廖昌,谢忠憬,尹勇明,孟鸿..TFT-LCD用黑色光刻胶材料对曝光过程Mark读取的影响[J].液晶与显示,2023,38(8):1047-1053,7.

国家自然科学基金(No.62205058) （No.62205058）

广东省基础与应用基础研究项目(No.2021A1515110085) （No.2021A1515110085）

深圳市技术攻关项目(No.JSGG20220831103402005)Supported by the National Natural Science Foundation of China(No.62205058) （No.JSGG20220831103402005）

Guangdong Basic and Ap-plied Basic Research Foundation(No.2021A1515110085) （No.2021A1515110085）

Shenzhen Science and Technology Program(No.JSGG20220831103402005) （No.JSGG20220831103402005）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1007-2780

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