原子能科学技术2005，Vol.39Issue(B07)：P.88-93,7.
磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究
郑华 1刘实 1于洪波 1朱跃进 1王隆保 1施力群 2刘超卓2
作者信息
- 1. 中国科学院金属研究所,辽宁沈阳110016
- 2. 复旦大学现代物理研究所,上海200433
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郑华,刘实,于洪波,朱跃进,王隆保,施力群,刘超卓..磁控溅射法制备含氦钛膜及膜中氦的热解吸研究[J].原子能科学技术,2005,39(B07):P.88-93,7.基金项目
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50471078) （）
