大连理工大学学报Issue(S1)：P.5-8,4.
氧分压对IWO薄膜表面形貌及光电性能的影响
摘要
关键词
IWO薄膜/直流磁控溅射/氧分压/表面形貌/光电性能分类
自科综合引用本文复制引用
张远鹏,王文文,秦诗瑶,于蕾..氧分压对IWO薄膜表面形貌及光电性能的影响[J].大连理工大学学报,2011,(S1):P.5-8,4.基金项目
国家大学生创新性实验计划资助项目(091000650) （091000650）
国家自然科学基金资助项目(重点项目50902006) （重点项目50902006）
