|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|南京航空航天大学学报|大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向

大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向

张晓峰 林彬

南京航空航天大学学报2005，Vol.37Issue(B11)：P.179-183,5.
✕
南京航空航天大学学报2005，Vol.37Issue(B11)：P.179-183,5.

大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向

张晓峰 1林彬1

作者信息

  • 1. 天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津300072
  • 折叠

摘要

关键词

超精密工作台/纳米级分辨率/大行程

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张晓峰,林彬..大行程纳米级分辨率超精密工作台的发展方向[J].南京航空航天大学学报,2005,37(B11):P.179-183,5.

南京航空航天大学学报

OA北大核心CSCD

2097-6771

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文