材料工程Issue(S1)：P.250-253,5.
靶电流对掺钨类金刚石膜的结构与摩擦学行为的影响
摘要
关键词
掺钨类金刚石/靶电流/结构/力学性能/磁控溅射+阳极层条形离子源分类
数理科学引用本文复制引用
付志强,王成彪,杜秀军,王伟,邬苏东,于翔,彭志坚,林松盛,代明江..靶电流对掺钨类金刚石膜的结构与摩擦学行为的影响[J].材料工程,2009,(S1):P.250-253,5.基金项目
科技部国际科技合作项目(2006DFB51260) （2006DFB51260）
金属新材料制备与成形广东省重点实验室开放基金项目(2008002) （2008002）
科学钻探国家专业实验室开放课题(NLSD200605) （NLSD200605）
