人工晶体学报2018，Vol.47Issue(5)：P.942-947,6.
不同温度下同质外延生长单晶金刚石的应力分析
宋修曦 1马志斌 1耿传文 1丁康俊 1任昱霖1
作者信息
- 1. 武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉430073
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摘要
关键词
同质外延/单晶金刚石/应力/化学气相沉积分类
数理科学引用本文复制引用
宋修曦,马志斌,耿传文,丁康俊,任昱霖..不同温度下同质外延生长单晶金刚石的应力分析[J].人工晶体学报,2018,47(5):P.942-947,6.基金项目
中国电子科技集团公司第四十六研究所创新基金(CJ20150701) （CJ20150701）
