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微机电系统发展及其应用

孟兴菊 石梅生

医疗卫生装备Issue(S2)：P.74-75,2.
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医疗卫生装备Issue(S2)：P.74-75,2.

微机电系统发展及其应用

孟兴菊 1石梅生1

作者信息

  • 1. 军事医学科学院卫生装备研究所,天津市300161
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摘要

关键词

微机电系统(MEMS)/MEMS器件/微机械

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孟兴菊,石梅生..微机电系统发展及其应用[J].医疗卫生装备,2003,(S2):P.74-75,2.

医疗卫生装备

OACSTPCD

1003-8868

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