人工晶体学报Issue(S1)：P.17-20,4.
氧气氛退火对TiO_2薄膜结构和成分的影响
摘要
关键词
TiO2薄膜/电子束蒸发/氧气氛退火分类
数理科学引用本文复制引用
赵利利,伍登学,刘成士,廖志君,卢铁城..氧气氛退火对TiO_2薄膜结构和成分的影响[J].人工晶体学报,2009,(S1):P.17-20,4.基金项目
国家自然科学基金委员会"重点学术期刊专项基金"(No.50131010) （No.50131010）
总装预研基金(JG2006047)资助 （JG2006047）
