计量学报Issue(S1)：P.18-24,7.
用于线宽测量的双探针原子力显微镜
王鹤群 1李伟 1李琪 1施玉书 1李适 1高思田1
作者信息
摘要
关键词
计量学/双探针/原子力显微镜/线宽测量分类
机械制造引用本文复制引用
王鹤群,李伟,李琪,施玉书,李适,高思田..用于线宽测量的双探针原子力显微镜[J].计量学报,2017,(S1):P.18-24,7.基金项目
国家重点研发计划项目(2016YFA0200901) （2016YFA0200901）
国家科技支撑计划(2011BAK15B02) （2011BAK15B02）
