南京航空航天大学学报2005，Vol.37Issue(B11)：P.63-67,5.
连续多试样纳米金刚石膜沉积设备及工艺
摘要
关键词
纳米金刚石膜/热丝化学气相沉积/机械手/连续沉积分类
矿业与冶金引用本文复制引用
徐锋,左敦稳,卢文壮,黎向锋,相炳坤,李磊,王珉..连续多试样纳米金刚石膜沉积设备及工艺[J].南京航空航天大学学报,2005,37(B11):P.63-67,5.基金项目
国家自然科学基金(50275076)资助项目 （50275076）
江苏省人才高峰计划(E-2002-017)资助项目 （E-2002-017）
南京航空航天大学青年科研基金(S0349-052)资助项目 （S0349-052）
