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类金刚石膜Ti,Zr掺杂对DLC性能的影响

马国佳 张华芳 武洪臣 孙刚

材料工程Issue(S1)：P.77-79,4.
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材料工程Issue(S1)：P.77-79,4.

类金刚石膜Ti,Zr掺杂对DLC性能的影响

马国佳 1张华芳 1武洪臣 1孙刚1

作者信息

  • 1. 北京航空制造研究所高能束流加工技术国防科技重点实验室,北京100024
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摘要

关键词

DLC膜/类金刚石/PSII/Ti、Zr掺杂

分类

数理科学

引用本文复制引用

马国佳,张华芳,武洪臣,孙刚..类金刚石膜Ti,Zr掺杂对DLC性能的影响[J].材料工程,2009,(S1):P.77-79,4.

材料工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4381

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