硅酸盐通报Issue(S1)：P.75-77,3.
高效多晶硅中石英坩埚内高纯隔离层的致密化处理
王梓旭 1尹长浩 2吴志勇 1戚凤鸣 1钟根香 3黄新明2
作者信息
- 1. 南京工业大学材料科学与工程学院,南京210009
- 2. 南京工业大学材料科学与工程学院,南京210009 东海晶澳太阳能科技有限公司,东海222300
- 3. 东海晶澳太阳能科技有限公司,东海222300 西安交通大学能源与动力工程学院,西安710049
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摘要
关键词
多晶硅/隔离层/级配/氧含量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王梓旭,尹长浩,吴志勇,戚凤鸣,钟根香,黄新明..高效多晶硅中石英坩埚内高纯隔离层的致密化处理[J].硅酸盐通报,2015,(S1):P.75-77,3.基金项目
陕西省重点学科建设专项资金资助项目 （）
陕西省科学技术研究发展计划工业攻关项目(2014K08-35) （2014K08-35）
