化工学报Issue(S1)：P.159-165,7.
声表面波传感器温度频率特性的数值分析
李莺歌 1马连湘 2张娜 2袁世魁 2杜东兴2
作者信息
- 1. 青岛科技大学自动化与电子工程学院,山东青岛266042 青岛科技大学机电工程学院,山东青岛266061
- 2. 青岛科技大学机电工程学院,山东青岛266061
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摘要
关键词
声表面波传感器/数值模拟/热传导/膜/微电子学/温度频率特性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李莺歌,马连湘,张娜,袁世魁,杜东兴..声表面波传感器温度频率特性的数值分析[J].化工学报,2016,(S1):P.159-165,7.基金项目
国家自然科学基金项目(51476081)~~ （51476081）
