|
国家科技期刊平台
|
注册
中文
EN
首页
|
期刊导航
|
无机材料学报
|
溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响
溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响
曾晟
丁爱丽
仇萍荪
何夕云
罗维根
无机材料学报
1999，Vol.14
Issue(1)：P.107-113,7.
下载
✕
无机材料学报
1999，Vol.14
Issue(1)
：P.107-113,7.
溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响
曾晟
1
丁爱丽
1
仇萍荪
1
何夕云
1
罗维根
1
作者信息
1.
中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050
折叠
摘要
关键词
射频磁控溅射
/
铁电薄膜
/
钙钛矿相
/
PZT
/
相变
分类
信息技术与安全科学
引用本文
复制引用
曾晟,丁爱丽,仇萍荪,何夕云,罗维根..溅射工艺参数对PZT铁电薄膜相变过程的影响[J].无机材料学报,1999,14(1):P.107-113,7.
无机材料学报
OA
北大核心
CSCD
SCI
ISSN：
1000-324X
下载
访问量
0
|
下载量
0
段落导航
相关论文
摘要
关键词
分类
引用文本
