化工学报2018，Vol.69Issue(A02)：P.505-511,7.DOI:10.11949/j.issn.0438-1157.20181169
高功率微波等离子体环境下甲烷浓度对金刚石膜的影响
摘要
关键词
甲烷/高微波功率/微波等离子体/化学气相沉积分类
化学化工引用本文复制引用
罗凯,汪建华,余军火,翁俊..高功率微波等离子体环境下甲烷浓度对金刚石膜的影响[J].化工学报,2018,69(A02):P.505-511,7.基金项目
国家自然科学基金项目(51402220) （51402220）
湖北省教育厅基金项目(Q20151517) （Q20151517）
武汉工程大学科学研究基金项目(K201506)~~ （K201506）
