氧分压对室温制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响OA北大核心CSCDCSTPCD

作者：闫宁宁;汪洪;刘静;左岩

作者单位：中国建筑材料科学研究总院,北京100024 国家玻璃深加工工程技术中心,北京100024 绿色建筑材料国家重点实验室,北京100024中国建筑材料科学研究总院,北京100024 国家玻璃深加工工程技术中心,北京100024 绿色建筑材料国家重点实验室,北京100024中国建筑材料科学研究总院,北京100024 国家玻璃深加工工程技术中心,北京100024 绿色建筑材料国家重点实验室,北京100024中国建筑材料科学研究总院,北京100024 国家玻璃深加工工程技术中心,北京100024

中文关键词：掺铝的氧化锌反应磁控溅射氧分压透明导电薄膜

刊名：《硅酸盐学报》 2013 (9)

页码/页数：P.1251-1257,7

基金：十二五国家科技支撑计划(2011BAE14B01)资助项目