|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|大气与环境光学学报|AlGaAs湿法氧化特性实验研究

AlGaAs湿法氧化特性实验研究

曾丽娜 赵英杰 钟景昌

大气与环境光学学报Issue(4)：P.73-76,4.
✕
大气与环境光学学报Issue(4)：P.73-76,4.

AlGaAs湿法氧化特性实验研究

曾丽娜 1赵英杰 2钟景昌2

作者信息

  • 1. 长春理工大学机电工程学院,吉林长春130022
  • 2. 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林长春130022
  • 折叠

摘要

关键词

氧化物限制/湿法氧化

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曾丽娜,赵英杰,钟景昌..AlGaAs湿法氧化特性实验研究[J].大气与环境光学学报,2006,(4):P.73-76,4.

大气与环境光学学报

1673-6141

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文