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氧化锆基氧传感器对抽气(空气)系统的低真空测量

孙成文 陈深 杨芝洲

无机材料学报1999,Vol.14Issue(6):P.963-968,6.
无机材料学报1999,Vol.14Issue(6):P.963-968,6.

氧化锆基氧传感器对抽气(空气)系统的低真空测量

孙成文 1陈深 1杨芝洲1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050
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摘要

关键词

低真空测量/氧化锆/氧传感器/氧浓差电池/真空度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

孙成文,陈深,杨芝洲..氧化锆基氧传感器对抽气(空气)系统的低真空测量[J].无机材料学报,1999,14(6):P.963-968,6.

无机材料学报

OA北大核心CSCDSCI

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