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微加工和太赫兹真空电子器件技术进展

廖复疆 蔡军

真空电子技术Issue(4)：P.1-5,6.
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真空电子技术Issue(4)：P.1-5,6.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2017.04.001

微加工和太赫兹真空电子器件技术进展

廖复疆 1蔡军1

作者信息

  • 1. 北京真空电子技术研究所,北京100015
  • 折叠

摘要

关键词

微加工/太赫兹/真空电子器件

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

廖复疆,蔡军..微加工和太赫兹真空电子器件技术进展[J].真空电子技术,2017,(4):P.1-5,6.

真空电子技术

1002-8935

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