南京航空航天大学学报2005，Vol.37Issue(B11)：P.86-89,4.
双面抛光加工运动过程分析与数学模型的建立
摘要
关键词
双面抛光/晶片/加工过程/数学模型分类
机械制造引用本文复制引用
金杨福,李伟,胡刚翔,胡晓珍..双面抛光加工运动过程分析与数学模型的建立[J].南京航空航天大学学报,2005,37(B11):P.86-89,4.基金项目
浙江省自然科学基金(M503049)资助项目 （M503049）
浙江省科技厅重点基金(2004C21007)资助项目 （2004C21007）
浙江省教育厅重点基金(20030157)资助项目 （20030157）
浙江省教育厅科研计划基金(20030149)资助项目 （20030149）
宁波市科技基金(2003A41031)资助项目 （2003A41031）
