传感技术学报2023，Vol.36Issue(6)：839-848,10.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2023.06.001
高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究
Research on SOI-Based Nano-Silicon Film Micro-Piezoresistive Pressure Sensor with High Performance
摘要
关键词
SOI基/纳米硅薄膜/微压阻式压力传感器/检测电路/有限元分析(FEA)Key words
SOI-based/nano-silicon film/micro-piezoresistive pressure sensor/detection circuit/finite element analysis(FEA)分类
农业科技引用本文复制引用
高颖,姜岩峰..高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究[J].传感技术学报,2023,36(6):839-848,10.基金项目
国家自然科学基金面上项目(61774078) （61774078）
