传感技术学报2023，Vol.36Issue(6)：849-859,11.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2023.06.002
不完全连续三层微梁谐振器中热弹性阻尼研究
Thermoelastic Damping in Three-Layer Microbeams with Incomplete Continuous Structure
摘要
关键词
热弹性阻尼/开槽结构/热弹性耦合振动/微谐振器/品质因数Key words
thermoelastic damping/slot structure/thermoelastic coupling vibration/micro-resonator/quality factor分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冶志翔,左万里,刘璇..不完全连续三层微梁谐振器中热弹性阻尼研究[J].传感技术学报,2023,36(6):849-859,11.基金项目
国家自然科学基金项目(51705261) （51705261）
浙江省教育厅一般科研项目(Y202248861) （Y202248861）
