表面技术2023，Vol.52Issue(8)：371-379,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2023.08.032
圆筒式磁控溅射靶的磁场仿真与结构设计
Magnetic Field Simulation and Structure Design of Cylindrical Magnetron Sputtering Target
摘要
关键词
磁控溅射靶/磁场仿真/有限元分析/优化/结构设计/圆筒式Key words
magnetron sputtering target/magnetic field simulation/finite element analysis/optimization/structural design/cylindrical type分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王栋,蔡长龙,弥谦,王麟博,刘桦辰,侯杰..圆筒式磁控溅射靶的磁场仿真与结构设计[J].表面技术,2023,52(8):371-379,9.基金项目
国家自然科学基金(11975177) （11975177）
西安市智能探视感知重点实验室资助项目(201805061ZD12CG45) （201805061ZD12CG45）
西安市智能兵器重点实验室资助项目(2019220514SYS020CG042) National Natural Science Foundation of China(11975177) （2019220514SYS020CG042）
Xi'an Key Laboratory of Intelligent Visitation Perception(201805061ZD12CG45) （201805061ZD12CG45）
Xi'an Key Laboratory of Intelligence(2019220514SYS020CG042) （2019220514SYS020CG042）
