激光技术2023，Vol.47Issue(4)：480-484,5.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.04.006
红外激光致砷化镓损伤过程的散射光诊断
Investigation on infrared laser-induced damage process of GaAs wafers based on scattering signal
摘要
关键词
激光技术/损伤/散射信号/砷化镓Key words
laser technique/damage/scattering signal/GaAs分类
物理学引用本文复制引用
贾志超,李新华,李泽文,倪晓武..红外激光致砷化镓损伤过程的散射光诊断[J].激光技术,2023,47(4):480-484,5.基金项目
江苏省高等学校自然科学研究基金面上项目(19KJB140009) （19KJB140009）
