江西科学2023，Vol.41Issue(4)：736-739,4.DOI:10.13990/j.issn1001-3679.2023.04.021
轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发
Method on the Surface Profiler Testingfor Large Mirrors and Nano-Accuracy Surface Profiler(NSP)
摘要
关键词
表面轮廓仪/大尺寸反射镜测试/纳精度/第3代表面轮廓仪Key words
surface profiler/testing for large mirrors/nano-accuracy/third generation surface pro-filer分类
机械制造引用本文复制引用
李剑白,钱石南,李小芸,Mourad Idir..轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发[J].江西科学,2023,41(4):736-739,4.基金项目
美国能源部资助、Brookhaven Science Associates LLC授权项目(DE-AC02-98CH10886). （DE-AC02-98CH10886）
