太阳能Issue(8)：29-38,10.DOI:10.19911/j.1003-0417.tyn20230331.02
n型TOPCon太阳电池PECVD路线磷活性掺杂技术的改善研究
RESEARCH ON IMPROVEMENT OF PHOSPHORUS ACTIVITY DOPING TECHNOLOGY IN THE PECVD ROUTE OF n-TOPCon SOLAR CELLS
易辉 1周塘华 1邹佳朴 1江庆 1谌业斌 1刘欢1
作者信息
- 1. 湖南红太阳新能源科技有限公司,长沙 410000
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摘要
关键词
隧穿氧化层钝化接触太阳电池/等离子体增强化学气相沉积/退火/磷沉积/磷活性掺杂浓度/产业化Key words
TOPCon solar cells/PECVD/annealing/phosphorus deposition/phosphorus active doping concentration/industrialization分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
易辉,周塘华,邹佳朴,江庆,谌业斌,刘欢..n型TOPCon太阳电池PECVD路线磷活性掺杂技术的改善研究[J].太阳能,2023,(8):29-38,10.
