光学精密工程2023，Vol.31Issue(15)：2227-2235,9.DOI:10.37188/OPE.20233115.2227
ICP快速大面积制备三维内部联通蜂窝状微孔阵列
Rapid ICP-based fabrication of large-area silicon three-dimensional interconnected honeycomb microwell array
摘要
关键词
各向同性刻蚀/蜂窝结构/内部联通/刻蚀速率Key words
isotropic etching/honeycomb structure/interconnect/etch rate分类
机械工程引用本文复制引用
李政昊,吕枭,李寰,成龙,周文超,吴一辉..ICP快速大面积制备三维内部联通蜂窝状微孔阵列[J].光学精密工程,2023,31(15):2227-2235,9.基金项目
国家自然科学基金面上项目(No.61974143) （No.61974143）
中国科学院青促会会员项目(No.2020223) （No.2020223）
中国科学院战略先导A项目(No.XDA22020406) （No.XDA22020406）
长春市科技发展计划资助项目(No.21ZY02) （No.21ZY02）
