光学精密工程2023,Vol.31Issue(15):2236-2247,12.DOI:10.37188/OPE.20233115.2236
三轴电磁-压电混合驱动快速刀具伺服的轨迹跟踪控制
Trajectory tracking control for tri-axial fast tool servo using hybrid electromagnetic-piezoelectric actuation
摘要
关键词
快速刀具伺服/轨迹跟踪控制/陷波滤波器/前馈解耦补偿/动态迟滞模型Key words
fast tool servo/trajectory tracking control/notch filter/feed-forward decoupling compensa-tion/dynamic hysteresis model分类
金属材料引用本文复制引用
朱志远,朱紫辉,周晓勤,朱利民,朱志伟..三轴电磁-压电混合驱动快速刀具伺服的轨迹跟踪控制[J].光学精密工程,2023,31(15):2236-2247,12.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52275437,No.U2013211) (No.52275437,No.U2013211)
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20211572) (No.BK20211572)