光学精密工程2023,Vol.31Issue(15):2248-2259,12.DOI:10.37188/OPE.20233115.2248
液相下激光烧蚀快速制备图案化铜微纳结构
Rapid fabrication of patterned Cu micro-nano structure by laser ablation in liquid
摘要
关键词
激光烧蚀/图案化铜微纳结构/浸润特性/二元结构Key words
laser ablation/patterned Cu micro-nano structure/wetting characteristic/binary structure分类
电子信息工程引用本文复制引用
于苗苗,翁占坤,王冠群,郭川川,胡俊廷,王作斌..液相下激光烧蚀快速制备图案化铜微纳结构[J].光学精密工程,2023,31(15):2248-2259,12.基金项目
国家自然基金面上项目(No.62175019) (No.62175019)
广东省基础与应用基础研究基金委员会地区培育项目(No.2022A1515140053) (No.2022A1515140053)
广东省科技计划季华实验室项目(No.X220961UZ230) (No.X220961UZ230)