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液相下激光烧蚀快速制备图案化铜微纳结构

于苗苗 翁占坤 王冠群 郭川川 胡俊廷 王作斌

光学精密工程2023,Vol.31Issue(15):2248-2259,12.
光学精密工程2023,Vol.31Issue(15):2248-2259,12.DOI:10.37188/OPE.20233115.2248

液相下激光烧蚀快速制备图案化铜微纳结构

Rapid fabrication of patterned Cu micro-nano structure by laser ablation in liquid

于苗苗 1翁占坤 2王冠群 1郭川川 1胡俊廷 1王作斌1

作者信息

  • 1. 长春理工大学 国家纳米操纵与制造国际联合研究中心,吉林 长春 130022
  • 2. 长春理工大学 国家纳米操纵与制造国际联合研究中心,吉林 长春 130022||佛山科学技术学院 机电工程与自动化学院,广东 佛山 528225
  • 折叠

摘要

关键词

激光烧蚀/图案化铜微纳结构/浸润特性/二元结构

Key words

laser ablation/patterned Cu micro-nano structure/wetting characteristic/binary structure

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

于苗苗,翁占坤,王冠群,郭川川,胡俊廷,王作斌..液相下激光烧蚀快速制备图案化铜微纳结构[J].光学精密工程,2023,31(15):2248-2259,12.

基金项目

国家自然基金面上项目(No.62175019) (No.62175019)

广东省基础与应用基础研究基金委员会地区培育项目(No.2022A1515140053) (No.2022A1515140053)

广东省科技计划季华实验室项目(No.X220961UZ230) (No.X220961UZ230)

光学精密工程

OACSTPCD

1004-924X

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