人工晶体学报2023，Vol.52Issue(8)：1378-1385,8.
金刚石线锯锯切β-Ga2O3晶体应力场分析
Stress Field Analysis of Diamond Wire Sawing β-Ga2O3 Crystal
摘要
关键词
β-Ga2O3/金刚石线锯/有限元分析/热力耦合应力/机械应力/热应力Key words
β-Ga2O3/diamond wire saw/finite element analysis/thermal-mechanical coupling stress/mechanical stress/thermal stress引用本文复制引用
李宗平,程大猛..金刚石线锯锯切β-Ga2O3晶体应力场分析[J].人工晶体学报,2023,52(8):1378-1385,8.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB3401902) （2022YFB3401902）
