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人工晶体学报
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原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜
原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜
段超
李坤
高岗
朱嘉琦
人工晶体学报
2023,Vol.52
Issue(8):1553,1.
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人工晶体学报
2023,Vol.52
Issue(8)
:1553,1.
原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜
段超
1
李坤
1
高岗
1
朱嘉琦
1
作者信息
1.
哈尔滨工业大学
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段超,李坤,高岗,朱嘉琦..原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜[J].人工晶体学报,2023,52(8):1553,1.
人工晶体学报
OA
北大核心
CSTPCD
ISSN:
1000-985X
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