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原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜

段超 李坤 高岗 朱嘉琦

人工晶体学报2023,Vol.52Issue(8):1553,1.
人工晶体学报2023,Vol.52Issue(8):1553,1.

原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜

段超 1李坤 1高岗 1朱嘉琦1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学
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摘要

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段超,李坤,高岗,朱嘉琦..原子层沉积技术用于红外透明导电薄膜[J].人工晶体学报,2023,52(8):1553,1.

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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