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半导体器件制造工艺对数字集成电路可靠性的影响探究

潘海波

数字技术与应用2023，Vol.41Issue(8)：72-74,3.
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数字技术与应用2023，Vol.41Issue(8)：72-74,3.DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2023.08.22

半导体器件制造工艺对数字集成电路可靠性的影响探究

潘海波1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所
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摘要

分类

信息技术与安全科学

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潘海波..半导体器件制造工艺对数字集成电路可靠性的影响探究[J].数字技术与应用,2023,41(8):72-74,3.

数字技术与应用

1007-9416

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