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硅基光电子工艺中集成锗探测器的工艺挑战与解决方法

宁宁 潘伯津 黄烁 杜明锋 王学毅

数字技术与应用2023，Vol.41Issue(8)：142-145,239,5.
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数字技术与应用2023，Vol.41Issue(8)：142-145,239,5.DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2023.08.46

硅基光电子工艺中集成锗探测器的工艺挑战与解决方法

宁宁 1潘伯津 1黄烁 1杜明锋 1王学毅1

作者信息

  • 1. 联合微电子中心有限责任公司
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摘要

分类

信息技术与安全科学

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宁宁,潘伯津,黄烁,杜明锋,王学毅..硅基光电子工艺中集成锗探测器的工艺挑战与解决方法[J].数字技术与应用,2023,41(8):142-145,239,5.

数字技术与应用

1007-9416

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