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超声波键合压力自适应平衡装置设计与实验研究

周利杰郝瑞林蔡国庆刘辉宿世界

中国机械工程2023，Vol.34Issue(16)：2009-2015,7.

中国机械工程2023，Vol.34Issue(16)：2009-2015,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-132X.2023.16.015

Design and Experimental Study of an Ultrasonic Bonding Pressure Adaptive Balancing Device

周利杰 ¹郝瑞林 ¹蔡国庆 ¹刘辉 ¹宿世界²

作者信息

即时检测芯片/超声波键合/自适应压力平衡/键合均匀性/键合精度

point-of-care testing(POCT)chip/ultrasonic bonding/adaptive pressure balancing/bonding uniformity/bonding accuracy

通用工业技术

周利杰,郝瑞林,蔡国庆,刘辉,宿世界..超声波键合压力自适应平衡装置设计与实验研究[J].中国机械工程,2023,34(16):2009-2015,7.

河北省高等学校科学技术研究青年基金(QN2021226) （QN2021226）

沧州市科技计划(213101006) （213101006）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-132X

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