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基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究

阎晗张树皮磊马英瀚胡佳成施玉书

计量学报2023，Vol.44Issue(8)：1196-1201,6.

计量学报2023，Vol.44Issue(8)：1196-1201,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2023.08.07

Research on Resolution Evaluation Method of Nano-Positioning Stage Based on Laser Interference and Capacitive Sensor Composite Calibration Technology

阎晗 ¹张树 ²皮磊 ³马英瀚 ¹胡佳成 ¹施玉书²

作者信息

计量学/分辨力校准/激光干涉仪/电容传感器/纳米微动台

metrology/resolution calibration/laser interferometer/capacitive sensor/nano-positioning stage

通用工业技术

阎晗,张树,皮磊,马英瀚,胡佳成,施玉书..基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究[J].计量学报,2023,44(8):1196-1201,6.

国家重点研发计划(2021YFF0700403) （2021YFF0700403）

国家市场监督管理总局质量技术基础能力建设专项(ANL2003) （ANL2003）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1000-1158

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